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Dienstag, 07.02.2012 |
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AeroLas GmbH
Grimmerweg 6
D-82008 Unterhaching
Tel.: +49 89-66 60 89-0
Fax: +49 89-66 60 89-55
info@aerolas.de |
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| Für die Herstellung von Flat Panel Displays und verschiedene Anwendungen in der Halbleiterproduktion haben wir gemeinsam mit unserem Partner in Japan zahlreiche luftgelagerte Antriebssysteme mit einer oder mehreren Achsen entwickelt. Hunderte von Systemen sind seit dem Jahr 2003 in Serie. Darüber hinaus entwickeln und fertigen wir kundenspezifische Lösungen, wie z.B. Präzisions-Chucks mit integrierten Funktionen oder hoch-sensible Messvorrichtungen und Handhabungsmodule. |
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| |  | | Stage für Flat Panel Display
Produktion | | | |
3-Achs-Stage (x,y,z)
Die luftgelagerten Stages von AeroLas weisen eine deutlich bessere Dynamik und Genauigkeit als Wettbewerbsprodukte auf. Dies liegt zum einen an der Konzeption selbst, aber auch an der speziellen Auslegung und Anbindung der Luftlager. Ein herausragender Vorteil ist, dass die Luftlager einfach und schnell ausgetauscht werden können. Im Fall einer Beschädigung ist die Stage bereits nach wenigen Minuten ohne Justierungen wieder einsatzfähig.
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Branche: Flat Panel Display-Produktion
Anwendungen: verschiedene
Tätigkeiten: kundenspezifische Entwicklung, Fertigung/Montage Serie
Verfahrwege: bis > 2,5 m
Motoren: eisenlose Linearmotoren
Lagervorspannung: magnetisch, mit Vakuum oder mit Kolbenlagern
Genauigkeiten: je nach Anwendung Position und/oder Gleichförmigkeit |
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| |  | | luftgelagerte x/y Stage
für höchste Präzision | | | |
2-Achse Stage (x,y)
Diese Stage wurde auf hohe Dynamik und eine hohe Abstandsgenauigkeit des Messobjekts unter dem Messkopf optimiert.
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Branche: Flat Panel Display- / Halbleiter-Produktion
Anwendungen: verschiedene
Tätigkeiten: kundenspezifische Entwicklung, Fertigung/Montage Serie
Verfahrweg: 400 mm x 400 mm
Auflagefläche des x/y-Schlittens (Keramik): 400 mm x 400 mm
Ebenheit der Auflagefläche des x/y-Schlittens: 1 µm
maximale Beschleunigung: 4 m/s²
maximale Geschwindigkeit: 0,5 m/s
Geradheit (vertikal) auf 100 mm: 0,02 µm (x) / 0,07 µm (y)
Geradheit (horizontal) auf 100 mm: 0,14 µm (x) / 0,09 µm (y)
Gleichförmigkeit (Geschwindigkeit): +/- 0,05 % (bei v = 24 mm/s)
Motoren: eisenlose Linearmotoren
Lagervorspannung: magnetisch, mit Vakuum und mit Kolbenlager
Footprint: 1.248 mm x 1.000 mm x 270 mm |
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| |  | | Chuck mit integriertem
Luft-/Vakuumlager
und Liftpins | | | |
Präzisions-Chuck
Ein Chuck mit einer Ebenheit von 5 µm bei einer aktiven Fläche von 0,72 m² und einer Bauhöhe von nur 80 mm: Diese Aufgabe hat AeroLas gelöst. Luft und Vakuum sind parallel in die Chuck-Fläche integriert, um Glassubstrate laterial im Sub-µm-Bereich positionieren zu können. Zum zerstörungsfreien Aufsetzen und Abheben der Glassubstrate sind hoch-sensible Liftpins direkt in den Chuck integriert. Die nächste Generation mit einer vielfach größeren aktiven Fläche und integrierten x/y/phi-Antrieben ist bereits in Konzeption.
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Branche: Flat Panel Display-Produktion
Anwendungen: Laser-Bearbeitung
Tätigkeiten: kundenspezifische Entwicklung, Fertigung/Montage Serie
Chuck-Geometrie (Länge/Breite/Höhe: 980 mm x 730 mm x 80 mm
aktive Chuck-Fläche / Ebenheit: 920 mm x 732 mm / 5 µm (!)
Funktionalität: gleichzeitige Nutzung von Luft und Vakuum
Liftpins (Aufsetzen/Abheben): integrierte Pneumatikkolben |
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